En este trabajo reportamos
el análisis de la calidad de las películas de ZnSe
cuando se deposi-tan sobre substratos con y sin tratamiento químico
por medio de la técnica óptica de Fotolumi-niscencia
(FL). El crecimiento de los sistemas de ZnSe/GaAs se realizo mediante
la técnica de epitaxia de haces moleculares (Molecular Beam
Epitaxy, MBE) y se logró depositando pelícu-las de
ZnSe con determinadas relaciones de los flujos de Zn y Se sobre
substratos de GaAs, esta relación de flujos entre el Zn y
el Se, determinan la estequiometría del crecimiento y por
ende la calidad de la película. En todos los sistemas se
han empleado substratos semi-aislantes de GaAs orientados en la
dirección ?100?, en donde se han tenido en cuenta las condiciones
inicia-les del substrato. Se han mantenido todos los parámetros
del crecimiento constantes como son: la temperatura del substrato
y los flujos de las celdas de efusión del Zn y Se y se han
crecido películas con espesores nominales de 5000 Å.
PACS: 81.15.H; 78.66; 61.14.H; 78.55; 73.61.J
Keywords: Photoreflectance, optical characterization,
Electronic Materials, ZnSe, GaAs.
|