En este trabajo hemos crecido películas delgadas ferroeléctricas de Pb(Zr_0.48 Ti_0.52)O₃ (PZT) usando un sistema magnético de pulverización catódica rf en atmósfera de Ar/O₂ a una tempe-ratura de sustrato de 600°C. Usamos tres tipos diferentes de electrodos inferiores: Pt, YBa₂Cu₃O_1-x y SrRuO₃ los cuales tienen un comportamiento metálico a temperatura ambiente. Para la caracterización eléctrica usamos un sistema de la Radiant Technologies (RT66A) que nos permite medir ciclos de histéresis de P-E y análisis de fatiga para los diferentes condensa-dores. Nuestros resultados muestran que el uso de SrRuO₃ mejora la resistencia a la fatiga de los condensadores ferroeléctricos de PZT.

We have grown ferroelectric Pb(Zr_0.48 Ti_0.52)O₃ (PZT) thin films by rf magnetron sputtering in Ar/O2 atmosphere at substrate temperature around 600°C. We used three different types of electrodes: Pt, YBa₂Cu₃O_1-x and SrRuO₃, all are metallic at room temperature. For electrical characterization we have used the Radiant Technologies System (RT66A) for P-E hysteresis loops and fatigue measurements on different capacitors structures. Our results showed that the use of SrRuO3 improve the fatigue behavior of PZT ferroelectric capacitors.