| INCIDENCIA DE LA RELACIÓN
DE FLUJOS DE N2 Y Ar SOBRE LA ESTEQUIOMETRIA DE RECUBRIMIENTOS
DE TIN REALIZADOS MEDIANTE MAGNETRÓN DC |
| J. E. Alfonso, Fernando Pacheco, Carlos Moreno,
Rafael Garzón y J.Torres. |
En este trabajo se muestran los resultados obtenidos en el crecimiento
de láminas delgadas de TiN, en fase reactiva sobre sustratos
de acero AISI 420, mediante la técnica de magnetrón
dc. Las películas obtenidas fueron logradas de un blanco
de Ti (99,9) a una presión total de 7x10-3 mbar en una
atmósfera de N2 y Ar y a una potencia incidente sobre el
blanco de 200 W . El parámetro de estudio
fue la relación de flujos de N2 y Ar. Los resultados obtenidos
hasta la fecha muestran que la fase estequiometrica del TiN se
logra en la relación de mezcla f N2/fAr
= 2/98. Este resultado fue obtenido a través del estudio
de difracción
de rayos X y de un análisis cualitativo del color que presentan
las láminas en función de la relación de mezclas
estudiadas.
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In this work are showed the results obtained in the growth of
thin films of TiN, in reactive phase on steel substratum AISI 420,
by dc magnetron sputtering. The obtained films were achieved of
a target of Ti (99,9) to a total pressure of 7x10-3 mbar in an
atmosphere of N2 and Ar and to an incident power on the target
of 200 W. The study parameter was the relationship of flows of
N2 and Ar. The results obtained so far show that the stoichiometric
phase of the TiN is achieved in the mixture relationship. This
result was obtained by X -rays diffraction and of a qualitative
analysis of the color that present the films in function of the
relationship of studied mixtures.
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