Se prepararon películas
delgadas de ZnSe sobre substratos de vidrio y GaAs por el método
de deposición en baño químico (CBD) usando
Selenourea como fuente de iones Se-2. En este trabajo se presentan
algunos resultados del estudio del efecto de la temperatura de deposición,
de la concentración de los componentes de la solución,
del tiempo de deposición y del tipo de substrato sobre las
propiedades estructurales de las películas obtenidas. La
temperatura de deposición se estudió en un rango de
50OC - 80OC. Las películas de ZnSe crecidas sobre substrato
de vidrio resultaron ser muy poco cristalinas, mientras que las
depositadas sobre substratos de GaAs tienen mejores propiedades
estructurales. |