| Resumenes
Vol. 37 No.1 de 2005 |
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| CARACTERIZACIÓN ESTRUCTURAL
DE PELÍCULAS DE CARBÓN CRECIDAS POR HF CON LA
TÉCNICA DE ESPECTROSCOPIA DE FOTOELECTRONES DE RAYOS
X, XPS. |
| J .I. Cárdenas-Jimènez, W. Rivera,
F.N. Jiménez, C. Vargas-Hernández |
Se depositaron películas
de carbón sobre substratos de tungsteno-torio por la
técnica de filamento caliente (Hot Filament, HF). Se
realizó la caracterización estructural por la
técnica de Espectros-copia de Fotoelectrones generados
por Rayos X (XPS), en la región C1s (280 a 300eV) con
valo-res de energía de enlace alrededor de 285 eV.
Se analizó la región de la Banda de Valencia
(0-14 eV). En estas dos regiones se pueden observar los picos
respectivos para una configuración DLC. En la región
C1s se manifiestan dos señales correspondientes a hibridación
sp2 y sp3, con una se-paración relativa entre los picos
de DEEnlace=1.04 eV
y una relación de hibridación sp2 / sp3 de 1.29.
La hibridación sp2 hace referencia a enlaces tipo p,
y la hibridación sp3 a enlaces tipo s.
Que es un indicativo de una estructura tipo DLC. |
Carbon fimls were grown on
W-Th substrates by Hot Filament technic (HF),70 Torr , with
sub-strate and filament temperature 800 oC and 1800 oC respectivety,
with CH4/H2 ratio of 1 %. The structural characterization
was made by means X-ray Photoemission Spectroscopy (XPS) in
the of C1s (280-300eV) with binding energy values of about
285 eV .The valence band (0-14 eV) was analysed. In both regions
it could be observed the corresponding peaks for a Diamond
Like Car-bón (DLC) configuration. In the región
C1s two signals are evident that correspond to sp2 and sp3
hibridization with a relative separation between peaks of
DEEnlace=1.04 eV and sp2/sp3 hybridization ratio of 1,29. Hybridization
sp2 makes reference to p bonds
and sp3 hybridization to s bonds
that indicates a DLC structure. |
| Keywords: Diamond-like carbon,
DLC, XPS. |
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