Resumenes Vol. 37 No.1 de 2005
 
CARACTERIZACIÓN ESTRUCTURAL DE PELÍCULAS DE CARBÓN CRECIDAS POR HF CON LA TÉCNICA DE ESPECTROSCOPIA DE FOTOELECTRONES DE RAYOS X, XPS.
J .I. Cárdenas-Jimènez, W. Rivera, F.N. Jiménez, C. Vargas-Hernández
Resumen
Se depositaron películas de carbón sobre substratos de tungsteno-torio por la técnica de filamento caliente (Hot Filament, HF). Se realizó la caracterización estructural por la técnica de Espectros-copia de Fotoelectrones generados por Rayos X (XPS), en la región C1s (280 a 300eV) con valo-res de energía de enlace alrededor de 285 eV. Se analizó la región de la Banda de Valencia (0-14 eV). En estas dos regiones se pueden observar los picos respectivos para una configuración DLC. En la región C1s se manifiestan dos señales correspondientes a hibridación sp2 y sp3, con una se-paración relativa entre los picos de DEEnlace=1.04 eV y una relación de hibridación sp2 / sp3 de 1.29. La hibridación sp2 hace referencia a enlaces tipo p, y la hibridación sp3 a enlaces tipo s. Que es un indicativo de una estructura tipo DLC.

Abstract
Carbon fimls were grown on W-Th substrates by Hot Filament technic (HF),70 Torr , with sub-strate and filament temperature 800 oC and 1800 oC respectivety, with CH4/H2 ratio of 1 %. The structural characterization was made by means X-ray Photoemission Spectroscopy (XPS) in the of C1s (280-300eV) with binding energy values of about 285 eV .The valence band (0-14 eV) was analysed. In both regions it could be observed the corresponding peaks for a Diamond Like Car-bón (DLC) configuration. In the región C1s two signals are evident that correspond to sp2 and sp3 hibridization with a relative separation between peaks of DEEnlace=1.04 eV and sp2/sp3 hybridization ratio of 1,29. Hybridization sp2 makes reference to p bonds and sp3 hybridization to s bonds that indicates a DLC structure.
Keywords: Diamond-like carbon, DLC, XPS.
Formatos Disponibles: Pdf