En este trabajo se ha usado el Recocido Láser (RL)
para modificar las características ópticas
y morfológicas de películas delgadas cerámicas
usadas en aplicaciones de ingeniería. Se usaron muestras
de SiC y ZrO2-Y2O3 (ZrO2
con 8% por masa de Y2O3), las cuales
fueron depositadas sobre substratos de cuarzo, silicio y
zafiro, en un sistema Magnetron Sputtering (MS). Se eligieron
blancos estequiométricos de SiC y ZrO2-Y2O3,
para cada caso respectivo. En las muestras de SiC, se mantuvo
un espesor nominal de 100nm. Para el recocido, se ha usado
un Láser de CO2 de baja potencia, 1.2W y un tiempo
de exposición de 10 min. Se presentan resultados
de caracterización usando AFM, FTIR y XPS. Los resultados
indican que la rugosidad, el tamaño de grano y las
propiedades ópticas de las películas delgadas
obtenidas por MS pueden ser modificadas con un tratamiento
posterior de recocido láser a baja potencia, sin
presentar cambios en su composición química
y disminuyendo el tiempo de procesamiento de estos materiales
en comparación con técnicas convencionales
de recocido en hornos.