Se realizó un estudio del escalamiento dinámico y la cinética de rugosidad usando imágenes de Microscopia de Fuerza Atómica (AFM) de películas delgadas de Pb(Zr_0.48Ti_0.52)O₃ (PZT) sobre substratos de Si(100). Las películas fueron crecidas por la técnica de Magnetrón RF-sputtering en altas presiones de oxigeno y a una temperatura de substrato aproximada de 600°C variando el tiempo de deposición y manteniendo los otros parámetros de deposición constantes. Usamos un algoritmo del cual se puede extraer a partir de las imágenes de AFM el valor cuantitativo de los parámetros de rugosidad, es decir, la rugosidad cuadrática media (s(l)), la longitud de correlación (x_||), y el exponente de rugosidad (a). En este trabajo reportamos la dependencia de los parámetros que describen la rugosidad con el tiempo de deposición de las capas de PZT. Reportamos valores de a~0.7 que se mantienen para los diferentes tiempos de deposición (entre 15 y 60 minutos). Se obtuvo evidencia de escalamiento anómalo con un exponente local de a_loc~0.55. Estos valores están en acuerdo con el modelo de crecimiento no lineal que toma en cuenta la difusión superficial (LDV).

Palabras Clave: Estructura interfacial y Rugosidad, Fractales, PZT

Dynamical scaling and kinetic roughening study was done on digitized atomic force microscope (AFM) images of Pb(Zr_0.48Ti_0.52)O₃ (PZT) thin films grown on Si(001) substrates. The films were grown via Rf-sputtering technique at high oxygen pressures and at substrate temperatures 600°C varying the time deposition and hold the other growth parameters. By using a specific self-designed algorithm, we can extract from digitized AFM-images the quantitative values of roughness parameters, i.e., interface width (s(l)), correlation length (x_||), and roughness exponent (a). Herein, we report the sputter-time deposition dependence of the parameters describing roughness. We report $\alpha$-values that are the same for different time depositions (15 and 60 minutes). We found a-values close to 0.7 for all samples, and obtain evidence of anomalous scaling with a_loc~0.55. These values are agreement with LDV model than take account a non-linear diffusion term.

Keywords: Interface structure and roughness, Fractals, PZT ceramics