Las propiedades ferroeléctricas y los estados de enlace químico de películas delgadas de PbZr0.52Ti0.48O3 (PZT) depositadas sobre SrRuO3/SrTiO3 por pulverización catódica fueron inves-tigados mediante la técnica de Espectroscopía de Fotoelectrones de rayos-X (XPS). Se logró de-terminar las energías de enlace en la superficie, así como también la composición química de pelí-culas delgadas ferroeléctricas de PZT. Por medio de un sistema de medidas ferroeléctricas de la Radiant Technologies (RT 66A) se obtuvieron curvas histeréticas de polarización en función del campo eléctrico a temperatura ambiente, con valores de 35.3 C/cm2, 64.5 C/cm2 y 171.4 kV/cm, para polarización remanente, polarización de saturación y campo coercitivo, respectivamente. Ob-tuvimos una correlación entre las energías de enlace y las propiedades ferroeléctricas de las pelícu-las de PZT.

Palabras claves : Ferroelectricos, PZT, XPS, Energías de enlace en la superficial.

Ferroelectric properties and the chemical bonding states of lead zirconate titanate PbZr0.52Ti0.48O3 (PZT) thin films grown on SrRuO3/SrTiO3 by RF sputtering were investigated with X-ray photoelectron spec-troscopy (XPS). The binding energy of the elements in the surface was investigated, as a chemical compo-sition of the PZT ferroelectric thin films. By mean of a Radiant Technologies System to ferroelectric measurements were obtained hysteretic loops of P-E at room temperature, with values of 35.3 C/cm2, 64.5 C/cm2 and 171.4 kV/cm for remanent polarization, saturation polarization and coercitive field, respectively. A correlation was obtained between bonding states and PZT thin films ferroelectric proper-ties.

Keywords: Ferroelectric, PZT, XPS, Surface binding energy.