Multicapas de B 4 C/BCN/c-BN fueron depositadas sobre sustratos de acero rápido AISI M2 mediante la técnica del r.f. (13.56 MHz) magnetron sputtering multi-blanco, utilizando blancos de B 4 C (99.5%) y de h-BN (99.9%) y una mezcla de gas Ar (90%) y N 2 (10%). Los recubrimientos se depositaron a una temperatura de 300 ° C y a densidad de potencia de 7 W/cm 2 . Para la deposición del B 4 C se varió el Bias del sustrato entre -50 V y -150 V, y para los recubrimientos de BCN el flujo del N 2 de 2% hasta 12%. Para mejorar la adherencia al sustrato, se depositó para todas las películas, una monocapa de TiN de aproximadamente 300 nm de espesor. Propiedades mecánicas y tribológicas como la dureza, el módulo de Young y la adherencia, fueron determinadas por mediciones de nanoindentación y rayado. Las pruebas de mecanizado mediante el torneado de barras de acero con burles recubiertos con 5, 12 y 16 bicapas arrojaron un incremento del desempeño de éstas de aproximadamente 64% con respecto a las herramientas sin recubrimiento.

Palabras claves: Recubrimientos duros, Nitruro de Boro, Multicapas

Multilayer of B 4 C / BCN /c-BN were deposited on to high speed steel substrates AISI M2 by r.f. (13.56 MHz) multi-target magnetron sputtering from high purity (99.99 %) h-BN and a (99.5%) B 4 C targets, in an Ar (90%) / N 2 (10%) gas mixture. Films were deposited at 300 o C, with r.f power density of 7 W/cm 2 . For their deposition we varied the bias voltage of the B 4 C films between -50 and -150 V and for the BCN coatings the nitrogen gas flow from 2% to 12%. A 300-nm thick TiN buffer layer was first deposited to improve the adhesion of all samples. Mechanical properties like hardness, elastic Young Modulus, and adhesion were determined by Nanoindentation and Scratch measurements. Machining test by turning of low alloyed steel bars with burins coated with 16 bilayers, enabled an increment of tools performance of 67% compared with uncoated tools.

Keywords: Hard Coatings, Boron Nitrite, Multilayers.