Se depositaron películas delgadas de carburo de tungsteno (W-C) por el método de magnetrón sputtering r.f. (13.56 MHz) en una atmósfera de argón, utilizando dos blancos en forma de mosaico, compuestos de una matriz de carbono y diferentes cantidades de tungsteno incrustadas en la misma y dispuestas de manera concéntrica en la zona donde el campo magnético produce la mayor erosión del blanco. Las películas fueron depositadas a temperaturas entre 300 y 500 °C , sobre substratos de silicio (100) y sobre aceros tipo AISI D3. Para establecer la composición de las películas depositadas estas fueron analizadas mediante Espectroscopia Dispersiva de Energía de rayos-X (EDX) y se logró determinar que las diferentes fases del carburo de tungsteno obtenidas (hexagonal del WC y ortorrómbica del subcarburo de W 2 C), dependen directamente del porcentaje de tungsteno en la matriz de carbono de los blancos y de la temperatura de deposición. Los análisis de Espectroscopia de Infrarrojo con Transformada de Fourier (FTIR) mostraron la presencia de un pico a 1770 cm -1 que corresponde a los grupos carbonilos del enlace C=O [8] y una banda ancha centrada a 1340 cm -1 donde se encuentran dos modos activos a 1144 y 1220 cm -1 correspondientes a las fases cúbicas y hexagonal del WC, respectivamente.

Tungsten Carbide (W-C) thin films were obtained by r.f. (13.56 MHz) magnetron co-sputtering process in a argon background gas, from a mosaic targets of carbon C (99.9%) and tungsten W (99.9%) with different W and C cmncentrations. The thin films were deposited at temperatures between 300 and 500 °C onto the silicon (100) and AISI D3 steel substrates. Energy Dispersive X-ray spectroscopy analysis showed that the different hexagonal WC and orthorhombic W 2 C subcarbide obtained phases, directly depended of tungsten concentration in the mosaic targets, and of the deposition temperature. Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR) results of films deposited from different mosaic targets reveled the presence of a peak at 1730 cm –1 associated to the C=O, carbonyls groups and a width band centered near 1340 cm - 1 in which are two modes of cubic and hexagonal phases of WC at 1144 and 1220 cm -1 , respectively.